风险警示：以下内容仅供参考，提及行业或个股只做举例说明，不作为投资建议。

量检测设备是晶圆制造产线上的 “ 眼睛 ” ，其中技术难度最高的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备（以下简称 “ 明场设备 ” ）是 “ 眼睛 ” 里能看到的最小缺陷。量检测设备虽然不是直接生产设备，但和良率控制直接相关，同样不可或缺。量检测设备是技术壁垒高，少量国产化率极低的赛道之一。

量检测设备用于对生产过程中间的晶圆半成品进行检查，确保晶体管结构和目标设计相符：1）在试生产、工艺研发和芯片流片阶段能加速开发流程；2）在批量生产阶段能够找到设备参数的偏移，及时纠正设备、工艺过程的故障和错误。

因此，所有产线都要配备量测设备，否则产线的效率和经济性会很差。一般成熟制程产线，芯片结构简单，工艺流程也成熟，量测设备投资占总设备投资的10%。而在地缘政治矛盾背景下，国内晶圆厂需要很多创新工艺和路线，才能弯道实现和海外芯片可比肩的性能，这个过程也需要国产设备支持客户定制化的需求。因此在国内先进制程产线，量检测设备的占比能达到15%。

资料来源：中科飞测招股说明书

量检测设备种类多样，各类设备的市场占比相对稳定。细分可分为20大类设备，下表仅列举15个。正常一条产线都要用所有设备，20种比例比较固定。每个生产环节都会去测，拿不准的工艺重点测。

资料来源：丹羿投资研究

量检测设备的高壁垒在哪里? 以下从3个角度分析：

以难度最高的明场设备举例，其核心模块包括：1）光源、2）物镜系统，3）工件台，4）TDI相机。前三个模块光刻机也有、技术相似，只是光刻机难度更高，明场设备难度仅次于光刻机。“ 得明场者得天下 ” ，意思是说厂商以明场设备为产品核心，进行多品类拓展，从而确立行业龙头。

在完成数据收集后，依赖软件算法系统进行缺陷分析。其他半导体设备也需要用软件，但是软件是用来监控和控制硬件，核心功能还是依赖于硬件完成（如气体流量控制、温度控制等）。而量检测设备在硬件系统完成数据收集后，需要利用计算机视觉算法分析识别出异常特征，然后标记问题并反馈给工艺过程，以便后续做参数调整。不过算法系统对于国内来说不是难以逾越的瓶颈，只是需要数据积累。由于前道量检测设备的软件占比较高，毛利率通常高于其他半导体设备。海外大厂而言，量测设备龙头KLA毛利率60%左右，刻蚀、沉积及其他设备的平台型公司AMAT、LAM则是50%左右。

全球半导体设备格局之所以非常集中，是因为设备开发与晶圆厂工艺开发强绑定，换设备相当于换产线。对于位于产业链上游的半导体设备公司来说，最关键的壁垒是下游客户壁垒。虽然技术难度相比传统制造业高出不少，但因为此前大量顶尖专家回国，国内政策、资金大力支持，虽然起初产品稳定性做得不如海外大厂，但是能把性能指标基本符合要求的样品做出来，下游晶圆厂客户给试错和改进机会，上游设备公司就会迅速成长进步，比如A股两家市值已达千亿的头部设备公司——北方华创、中微公司。新设备在产线验证需要晶圆厂的工艺工程师密切配合，而晶圆厂本身就有很重的跑通线的任务，还需分出资源来帮助国产设备，分析输出数据和海外设备的差异。

图片来源：中科飞测半导体量检测设备

就投资机会来说，全球量检测设备市场被美国公司垄断，2023年美系设备全球市占率70%，剩余是日本15%，荷兰和以色列各5%。其中美国KLA公司占据全球50%以上市场份额。国内格局方面，主要有3家公司——中科飞测、精测电子、上海睿励，此外还有很多小创业公司。由于设备种类众多，量检测设备发展伊始就竞争格局分散。但随着近几年的技术演进，已经出现平台级龙头公司如中科飞测、精测电子。在高难度的大型设备如明/暗场设备即将实现重大突破，行业格局已经由分散走向逐步集中。在这一高壁垒、具有关键卡位的赛道有望诞生市值500亿以上的龙头公司。

END